半導(dǎo)材料四探針測(cè)試儀

BDST-300C半導(dǎo)電材料電阻測(cè)試儀

一、適用范圍

● 使?四探針治具測(cè)試?狀或塊狀半導(dǎo)體材料、?屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率

● 使?開(kāi)爾?測(cè)試夾直接測(cè)試電阻器直流電阻；

  四端測(cè)試法是目前較先進(jìn)之測(cè)試方法，主要針對(duì)高精度要求之產(chǎn)品測(cè)試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

四探針測(cè)試儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成圖表和報(bào)表。

四探針測(cè)試儀采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).

提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇，滿足國(guó)內(nèi)及國(guó)外客戶需求

四探針?阻測(cè)試儀是運(yùn)?四探針原理測(cè)量?塊電阻的專?儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時(shí)顯?。儀器

測(cè)試范圍0-10MΩ，最?分辨率0.1uΩ，電阻精度0.01%，精度2%。可?于測(cè)試半導(dǎo)體、?屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率。

四探針測(cè)試儀特點(diǎn)：

1、電阻精度：0.01%，最小分辨率0.1uΩ；

2、方電阻精度：1%，最小分辨率：0.1uΩ；

3、雙電測(cè)原理，提?精度和穩(wěn)定性；

4、測(cè)試探頭直排和矩形可選；

5、標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接?；

6、可配戴軟件查看和記錄測(cè)試數(shù)據(jù)；

二、儀器參數(shù)

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

2. 基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。

3. 精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；

方阻基本準(zhǔn)確度：1%；

電阻率基本準(zhǔn)確度：1%

4. 整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差：≤±1%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±1%

5. 四位半顯示讀數(shù)；十量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10檔分選；實(shí)現(xiàn)HIGH/IN/LOW分選

6. 測(cè)量范圍寬： 電阻：10-⁷Ω～10+⁸Ω ；方阻：10^-7Ω/□～10⁺⁸Ω/□；

7. 正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差

8. 恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí)，恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)。

9. 可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。

10. 校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。

11. 厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)需查表即可計(jì)算出電阻率。

12. 自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

13. 雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.

14. 具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。

15. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

16. 測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。

17. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分

析。

18.顯示語(yǔ)言 英文/中文

19.供電模式110v/220v